產品型號

大口徑管式氣氛爐AFD-1100X

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、石英管外徑為6″、8″、8.5″、11″

2、采用PID控制器，可以設置51段控溫程序。

3、控溫度高，保溫效果好，溫度范圍大，爐膛溫度均勻性高，可通氣氛抽真空。

4、安全可靠，操作簡單。

技術參數

1、電源：AC 380V  50/60Hz   5KW

2、石英管：?152mm×1000mm，?203mm×1000mm，?216mm×1000mm，?280mm×1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁

4、加熱區(qū)域：900mm

5、溫區(qū)：3個，各300mm長

6、恒溫區(qū)域：550mm

7、溫度;≤1100℃

8、工作溫度：1000℃

9、升溫速率：≤20℃/min

10、升溫速率：10℃/min

11、控溫度：±1℃

12、控溫段數：51段

產品規(guī)格

尺寸：1300mm×650mm×1050mm；重量：150kg

標準配件

1

石英管

1根

2

管堵

4個

3

坩堝鉗

1把

4

熱電偶

1根

5

真空法蘭

1套

6

高溫手套

1雙

可選配件

1、石英管

2、氧化鋁坩堝

3、石英坩堝

4、真空泵